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Industrielle Ultraschallreinigungsgeräte von LENJEX
Präzisionshalbleiterbauteile vor der Reinigung

LENJEX Industriereinigung

Ultraschallreinigung von Halbleiterteilen und -vorrichtungen

Sanfte, kontrollierte Reinigung von Halbleiterteilen, Trägern und Werkzeugen, bei denen es auf feine Partikel und Oberflächenintegrität ankommt.

Warum Ultraschall

Ultraschallreinigung für Halbleiterkomponenten

Die Halbleiterfertigung und ihre Werkzeuge erfordern eine sehr feine Partikelkontrolle und sanfte Energie zum Schutz von Oberflächen. Die kontrollierte Ultraschallreinigung mit höherer Frequenz entfernt feine Partikel und Rückstände von Trägern, Vorrichtungen und kompatiblen Teilen ohne die starke Implosion eines Niederfrequenzbades.

Die Labor-Ultraschallreiniger, mit Entgasung und Sweep, und die Mehrfrequenzreiniger werden für diese Aufgaben verwendet; Häufigkeit und Chemie werden sorgfältig überprüft. Die Arbeit bezieht sich auf Präzisionsreinigung im Reinraum und Präzise Sauberkeitskontrolle.

Kompatibilität, Partikelgrenzwerte und Handhabung in einer kontrollierten Umgebung werden vor der Spezifikation der Ausrüstung bestätigt.

Präzisionsteile unter kontrollierter Spülung
  • Feinpartikelentfernung mit kontrollierter Energie
  • Sanfte Frequenzen, die Oberflächen schonen
  • Spülen und Entgasen für gleichmäßige, konsistente Kavitation
  • Geeignet für Träger, Vorrichtungen und kompatible Teile
  • Wiederholbare Zyklen für eine kontrollierte Produktion

Typische Werkstücke

Teile in dieser Anwendung

  • Waferträger und Kassetten
  • Prozessvorrichtungen und Werkzeuge
  • Präzisionsgefertigte Teile
  • Keramik- und Quarzkomponenten
  • Metallschilde und Tabletts
  • Kompatible kleine Baugruppen

Kontamination

Böden zur Bewertung

  • Feine Partikel und Staub
  • Prozessrückstände
  • Fingerabdrücke und Umgang mit Kontaminationen
  • Polier- und Läpprückstände
  • Öle und organische Filme
Inspektion von Präzisionsteilen

Sauberkeitsziel

Definieren Sie Sauberkeit, bevor Sie die Ausrüstung auswählen

Die Akzeptanz basiert auf Partikelzählungen und Oberflächeninspektionen, die für die kontrollierte Umgebung geeignet sind.

Handhabung, Spülung und Trocknung werden so durchgeführt, dass eine erneute Kontamination nach der Reinigung vermieden wird.

Empfohlene Reihenfolge

Ein Prozessweg zur Bewertung

Der endgültige Ablauf hängt von der Bodenbeladung, dem Material, der Spülqualität und dem Trocknungsverhalten ab.

  1. Schritt 1Entgasen Sie frische Flüssigkeit und wählen Sie eine hohe Frequenz
  2. Schritt 2Sanfte Ultraschallwäsche, um feine Partikel zu entfernen
  3. Schritt 3Kontrollierte Spülstufen
  4. Schritt 4In einer kontrollierten Umgebung trocknen und handhaben
  5. ÜberprüfenÜberprüfen Sie die Partikelanzahl und den Oberflächenzustand

Empfohlene Ausrüstung

Systeme zum Vergleichen

Die endgültige Spezifikation erfolgt nach Prozesstests und Produktionsanalysen.

Prozesskontrollen

Steuern Sie die Variablen, die das Reinigungsergebnis verändern

Bestätigen Sie das Teil, den Boden, die Beladung und die endgültige Handhabung, bevor Sie die Geräteeinstellungen vornehmen.

Kontrolle 01

Material und Geometrie

Erfassen Sie Oberflächen, Hohlräume und Merkmale, die Luft oder Flüssigkeit einschließen können.

Kontrolle 02

Bodenbeschaffenheit

Testen Sie die schwerste repräsentative Kontamination, keine ideale Probe.

Kontrolle 03

Korbbeladung

Halten Sie den akustischen Zugang und die Teileabstände im Einklang mit der Produktion.

Kontrolle 04

Spülen und trocknen

Passen Sie die nachgelagerte Handhabung an die Rückstands- und Korrosionsrisiken an.

Systemauswahl

Passen Sie die Reinigungsroute an den Produktionsablauf an

Stufenanzahl und Automatisierung folgen dem validierten Prozess und der erforderlichen Ausgabe.

Charge

Ein-Tank-Route

Vergleichen Sie es mit gezieltem Waschen, bei dem Spülen und Trocknen getrennt verwaltet werden.

Mehrstufig

Waschen, abspülen und trocknen

Fügen Sie kontrollierte Stufen hinzu, wenn Verschleppung und Endzustand wichtig sind.

Automatisch

Wiederholbare Übertragung

Bewerten Sie die Automatisierung, wenn Ausgabe, Handhabung oder Rezeptsteuerung dies erfordern.

Akzeptanz

Definieren Sie, wie das gereinigte Teil überprüft wird

Nutzen Sie die gleiche praktische Prüfmethode für Probemuster und Produktionsteile.

  • Vereinbaren Sie den Oberflächen- oder Rückstandsgrenzwert
  • Überprüfen Sie versteckte und schwierige Funktionen
  • Notieren Sie die Spül-, Trocknungs- und Handhabungsbedingungen
  • Vergleichen Sie die Ergebnisse vor der nächsten Operation

Repräsentativer Prozess

Bestätigen Sie den Vorgang mit realen Teilen und Lasten

Der Testnachweis sollte die normale Produktion und den schwierigsten erwarteten Zustand abdecken.

  1. BeschreibenTeil, Material und Verschmutzung.
  2. LadenVerwenden Sie realistische Abstände und Ausrichtung.
  3. TestenNotieren Sie Chemie, Zeit und Temperatur.
  4. ÜberprüfenPrüfen Sie mit der vereinbarten Methode.
Planen Sie einen ReinigungsversuchProjektdetails senden

Bewerbungsfragen

Planung der Reinigungsstudie

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