Precyzyjne elementy półprzewodnikowe przed czyszczeniem

Czyszczenie przemysłowe LENJEX

Części i osprzęt półprzewodnikowy Czyszczenie ultradźwiękowe

Delikatne, kontrolowane czyszczenie części półprzewodnikowych, nośników i narzędzi, gdzie krytyczne znaczenie mają drobne cząstki i integralność powierzchni.

Dlaczego ultradźwiękowy

Czyszczenie ultradźwiękowe elementów półprzewodnikowych

Produkcja półprzewodników i jej oprzyrządowanie wymagają bardzo dokładnej kontroli cząstek i delikatnej energii w celu ochrony powierzchni. Kontrolowane czyszczenie ultradźwiękowe o wyższej częstotliwości usuwa drobne cząstki i pozostałości z nośników, osprzętu i kompatybilnych części bez silnej implozji kąpieli o niskiej częstotliwości.

The laboratoryjna myjka ultradźwiękowa, z odgazowaniem i przemiataniem oraz odkurzacz wieloczęstotliwościowy są wykorzystywane do tych zadań; częstotliwość i skład chemiczny są dokładnie sprawdzane. Praca dotyczy precyzyjne czyszczenie pomieszczeń czystych i precyzyjna kontrola czystości.

Kompatybilność, limity cząstek i obsługa w kontrolowanym środowisku są potwierdzane przed specyfikacją sprzętu.

Precyzyjne części pod kontrolowanym płukaniem
  • Drobne usuwanie cząstek przy kontrolowanej energii
  • Delikatne częstotliwości, które chronią powierzchnie
  • Zamiataj i odgazowuj, aby uzyskać równą, stałą kawitację
  • Nadaje się do nośników, osprzętu i kompatybilnych części
  • Powtarzalne cykle dla kontrolowanej produkcji

Typowe detale

Części w tej aplikacji

  • Nośniki i kasety na wafle
  • Osprzęt procesowy i oprzyrządowanie
  • Precyzyjnie obrobione części
  • Elementy ceramiczne i kwarcowe
  • Metalowe osłony i tace
  • Kompatybilne małe zespoły

Zanieczyszczenie

Gleby do oceny

  • Drobne cząstki i kurz
  • Pozostałości po procesie
  • Odciski palców i postępowanie z zanieczyszczeniami
  • Pozostałości po polerowaniu i docieraniu
  • Oleje i filmy organiczne
Kontrola części precyzyjnych

Cel czystości

Zdefiniuj czystość przed wyborem sprzętu

Akceptacja opiera się na liczbie cząstek i kontroli powierzchni odpowiedniej dla kontrolowanego środowiska.

Postępowanie, płukanie i suszenie odbywa się tak, aby uniknąć ponownego skażenia po czyszczeniu.

Zalecana sekwencja

Ścieżka procesu ewaluacji

Ostateczna kolejność zależy od obciążenia gleby, materiału, jakości płukania i zachowania podczas suszenia.

  1. Krok 1Odgazuj świeży płyn i wybierz wysoką częstotliwość
  2. Krok 2Delikatne mycie ultradźwiękowe w celu usunięcia drobnych cząstek
  3. Krok 3Kontrolowane etapy płukania
  4. Krok 4Suszyć i obchodzić się w kontrolowanym środowisku
  5. ZweryfikujSprawdź liczbę cząstek i stan powierzchni

Polecany sprzęt

Systemy do porównania

Ostateczna specyfikacja następuje po testach procesów i analizie produkcji.

Kontrola procesu

Kontroluj zmienne, które zmieniają wynik czyszczenia

Przed ustaleniem ustawień sprzętu należy potwierdzić część, glebę, załadunek i ostateczną obsługę.

Kontrola 01

Materiał i geometria

Rejestruj powierzchnie, zagłębienia i elementy, w których może uwięzić powietrze lub ciecz.

Kontrola 02

Stan gleby

Przetestuj najcięższe reprezentatywne zanieczyszczenie, a nie idealną próbkę.

Kontrola 03

Załadunek kosza

Zachowaj dostęp akustyczny i odstępy między częściami zgodnie z produkcją.

Kontrola 04

Spłukać i wysuszyć

Dopasuj dalsze postępowanie do ryzyka pozostałości i korozji.

Wybór systemu

Dopasuj trasę czyszczenia do przepływu produkcji

Liczba etapów i automatyzacja są zgodne z zatwierdzonym procesem i wymaganymi wynikami.

Partia

Trasa z jednym zbiornikiem

Porównaj w przypadku prania skoncentrowanego, w którym płukanie i suszenie są zarządzane oddzielnie.

Wieloetapowy

Umyć, opłukać i wysuszyć

Dodaj kontrolowane etapy, gdy liczy się przeniesienie i stan końcowy.

Automatyczny

Powtarzalny transfer

Oceń automatyzację, gdy wymaga tego kontrola produkcji, obsługi lub receptury.

Akceptacja

Określ sposób sprawdzania oczyszczonej części

Stosuj tę samą praktyczną metodę kontroli próbek próbnych i części produkcyjnych.

  • Uzgodnij limit powierzchni lub pozostałości
  • Sprawdź ukryte i trudne funkcje
  • Zapisuj warunki płukania, suszenia i postępowania
  • Porównaj wyniki przed następną operacją

Proces reprezentatywny

Potwierdź proces za pomocą rzeczywistych części i ładunków

Dowody próbne powinny obejmować normalną produkcję i najtrudniejszy oczekiwany stan.

  1. OpiszCzęść, materiał i zanieczyszczenie.
  2. ZaładujUżywaj realistycznych odstępów i orientacji.
  3. TestujRejestruj skład chemiczny, czas i temperaturę.
  4. ZweryfikujSprawdź uzgodnioną metodą.

Pytania aplikacyjne

Planowanie badania czyszczenia

Powiązane aplikacje

Przeglądaj sąsiednie przedmioty obrabiane