• WhatsApp: +86 178 6052 5713
LENJEX industriële ultrasone reinigingsapparatuur
Precisiehalfgeleidercomponenten vóór reiniging

LENJEX industriële reiniging

Halfgeleideronderdelen en -armaturen Ultrasoon reinigen

Zachte, gecontroleerde reiniging van halfgeleideronderdelen, dragers en gereedschappen, waarbij fijne deeltjes en oppervlakte-integriteit van cruciaal belang zijn.

Waarom ultrasoon

Ultrasoon reinigen van halfgeleidercomponenten

De productie van halfgeleiders en de bijbehorende gereedschappen vereisen een zeer fijne deeltjescontrole en zachte energie om oppervlakken te beschermen. Hogere frequentie, gecontroleerde ultrasone reiniging verwijdert fijne deeltjes en resten van dragers, armaturen en compatibele onderdelen zonder de sterke implosie van een laagfrequent bad.

De laboratorium ultrasone reiniger, met ontgassen en vegen, en de multi-frequentie reiniger worden voor deze taken gebruikt; frequentie en chemie worden zorgvuldig beoordeeld. Het werk heeft betrekking op precisiereiniging van cleanrooms En nauwkeurige netheidscontrole.

Compatibiliteit, deeltjeslimieten en hantering in een gecontroleerde omgeving worden bevestigd voordat apparatuur wordt gespecificeerd.

Precisieonderdelen onder gecontroleerde spoeling
  • Verwijdering van fijne deeltjes met gecontroleerde energie
  • Zachte frequenties die oppervlakken beschermen
  • Vegen en ontgassen voor gelijkmatige, consistente cavitatie
  • Geschikt voor dragers, armaturen en compatibele onderdelen
  • Herhaalbare cycli voor gecontroleerde productie

Typische werkstukken

Onderdelen in deze toepassing

  • Waferdragers en cassettes
  • Procesarmaturen en gereedschappen
  • Precisie bewerkte onderdelen
  • Keramische en kwartscomponenten
  • Metalen schilden en trays
  • Compatibele kleine assemblages

Verontreiniging

Bodems om te evalueren

  • Fijne deeltjes en stof
  • Procesresiduen
  • Vingerafdrukken en omgaan met besmetting
  • Polijst- en lepresten
  • Oliën en organische films
Inspectie van precisieonderdelen

Netheidsdoel

Definieer schoon voordat u apparatuur kiest

Acceptatie is gebaseerd op het aantal deeltjes en oppervlakte-inspectie die geschikt is voor de gecontroleerde omgeving.

Hantering, spoelen en drogen worden zo uitgevoerd dat herbesmetting na reiniging wordt voorkomen.

Aanbevolen volgorde

Een procestraject voor evaluatie

De uiteindelijke volgorde is afhankelijk van de grondbelasting, het materiaal, de spoelkwaliteit en het drooggedrag.

  1. Stap 1Ontgas verse vloeistof en selecteer een hoge frequentie
  2. Stap 2Zachte ultrasone wassing om fijne deeltjes op te tillen
  3. Stap 3Gecontroleerde spoelfasen
  4. Stap 4Droog en hanteer in een gecontroleerde omgeving
  5. VerifieerControleer het aantal deeltjes en de staat van het oppervlak

Aanbevolen uitrusting

Systemen om te vergelijken

De definitieve specificatie volgt op procestesten en productieanalyse.

Procescontroles

Beheers de variabelen die het schoonmaakresultaat veranderen

Bevestig het onderdeel, de bodem, het laden en de uiteindelijke behandeling voordat u de instellingen van de apparatuur vastlegt.

Controle 01

Materiaal en geometrie

Registreer oppervlakken, holtes en kenmerken die lucht of vloeistof kunnen vasthouden.

Controle 02

Bodemgesteldheid

Test de zwaarste representatieve verontreiniging, geen ideaal monster.

Controle 03

Mand laden

Houd de akoestische toegang en de afstand tussen de onderdelen consistent met de productie.

Controle 04

Spoelen en drogen

Stem de stroomafwaartse verwerking af op residu- en corrosierisico's.

Systeemselectie

Stem de reinigingsroute af op de productiestroom

Fasetelling en automatisering volgen het gevalideerde proces en de vereiste output.

Partij

Route met één tank

Vergelijk dit voor gericht wassen waarbij spoelen en drogen afzonderlijk worden beheerd.

Meertraps

Wassen, afspoelen en drogen

Voeg gecontroleerde fasen toe wanneer overdracht en eindtoestand van belang zijn.

Automatisch

Herhaalbare overdracht

Evalueer automatisering wanneer uitvoer-, verwerkings- of receptcontrole dit vereist.

Acceptatie

Definieer hoe het gereinigde onderdeel wordt gecontroleerd

Gebruik dezelfde praktische inspectiemethode voor proefmonsters en productieonderdelen.

  • Ga akkoord met de oppervlakte- of residulimiet
  • Controleer verborgen en moeilijke functies
  • Registreer de spoel-, droog- en hanteringsomstandigheden
  • Vergelijk de resultaten vóór de volgende operatie

Representatief proces

Bevestig het proces met echte onderdelen en ladingen

Proefbewijsmateriaal moet de normale productie en de moeilijkste te verwachten omstandigheden omvatten.

  1. BeschrijfOnderdeel, materiaal en vervuiling.
  2. LadenGebruik realistische afstanden en oriëntatie.
  3. TestenRegistreer chemie, tijd en temperatuur.
  4. VerifieerInspecteren volgens de afgesproken werkwijze.
Plan een schoonmaakproefProjectgegevens verzenden

Toepassingsvragen

Het plannen van het schoonmaakonderzoek

Gerelateerde toepassingen

Verken aangrenzende werkstukken