• WhatsApp: +86 178 6052 5713
Промышленное оборудование ультразвуковой очистки LENJEX
Прецизионные полупроводниковые компоненты перед очисткой

ЛЕНДЖЕКС Промышленный клининг

Ультразвуковая очистка полупроводниковых деталей и приспособлений

Бережная, контролируемая очистка полупроводниковых деталей, держателей и инструментов, где мелкие частицы и целостность поверхности имеют решающее значение.

Почему ультразвуковой

Ультразвуковая очистка полупроводниковых компонентов

Производство полупроводников и его оснастка требуют очень тонкого контроля частиц и щадящей энергии для защиты поверхностей. Высокочастотная контролируемая ультразвуковая очистка удаляет мелкие частицы и остатки с держателей, креплений и совместимых деталей без сильного взрыва, как в низкочастотной ванне.

The ультразвуковой очиститель для лабораторий, с дегазацией и разверткой, и многочастотный очиститель используются для этих задач; частота и химический состав тщательно проверяются. Работа относится к прецизионная уборка чистых помещений и прецизионный контроль чистоты.

Совместимость, пределы содержания частиц и обращение в контролируемой среде подтверждаются до выбора оборудования.

Прецизионные детали под контролируемой промывкой
  • Удаление мелких частиц с контролируемой энергией
  • Мягкие частоты, защищающие поверхности
  • Продувка и дегазация для равномерной и последовательной кавитации.
  • Подходит для держателей, приспособлений и совместимых деталей.
  • Повторяемые циклы для контролируемого производства

Типичные детали

Детали в этом приложении

  • Вафельные носители и кассеты
  • Технологическое оборудование и инструменты
  • Детали точной обработки
  • Керамические и кварцевые компоненты
  • Металлические щиты и лотки
  • Совместимые небольшие сборки

Загрязнение

Почвы для оценки

  • Мелкие частицы и пыль
  • Остатки процесса
  • Отпечатки пальцев и обращение с загрязнениями
  • Остатки полировки и притирки
  • Масла и органические пленки
Проверка прецизионных деталей

Целевой показатель чистоты

Определите чистоту перед выбором оборудования

Приемка основана на подсчете частиц и проверке поверхности, соответствующей контролируемой среде.

Обращение, ополаскивание и сушка осуществляются во избежание повторного загрязнения после очистки.

Рекомендуемая последовательность

Маршрут процесса для оценки

Конечная последовательность зависит от загрузки почвы, материала, качества полоскания и режима сушки.

  1. Шаг 1Дегазируйте свежую жидкость и выберите высокую частоту.
  2. Шаг 2Мягкая ультразвуковая промывка для удаления мелких частиц.
  3. Шаг 3Контролируемые этапы полоскания
  4. Шаг 4Сушить и обрабатывать в контролируемой среде.
  5. ПроверитьПроверьте количество частиц и состояние поверхности.

Рекомендуемое оборудование

Системы для сравнения

Окончательная спецификация следует за тестированием процесса и анализом производства.

Контроль процесса

Контролируйте переменные, которые меняют результат очистки

Прежде чем исправлять настройки оборудования, проверьте деталь, почву, загрузку и окончательную обработку.

Контроль 01

Материал и геометрия

Запишите поверхности, полости и элементы, в которых может задерживаться воздух или жидкость.

Контроль 02

Состояние почвы

Тестируйте самое сильное репрезентативное загрязнение, а не идеальный образец.

Контроль 03

Загрузка корзины

Поддерживайте акустический доступ и расстояние между деталями в соответствии с производственными процессами.

Контроль 04

Промывка и сушка

Соответствуйте последующему обращению с остатками и рисками коррозии.

Выбор системы

Сопоставьте маршрут очистки с производственным потоком

Подсчет стадий и автоматизация соответствуют проверенному процессу и требуемому результату.

Пакетный

Однотанковый маршрут

Сравните это с целенаправленной стиркой, при которой полоскание и сушка выполняются отдельно.

Многоступенчатый

Вымойте, ополосните и высушите

Добавляйте контролируемые этапы, когда важен перенос и окончательное состояние.

Автоматический

Повторяемая передача

Оцените автоматизацию, когда этого требуют результаты, обработка или контроль рецептов.

Принятие

Определите, как будет проверяться очищенная деталь.

Используйте один и тот же практический метод проверки для пробных образцов и производственных деталей.

  • Согласовать пределы поверхности или остатков
  • Проверьте скрытые и сложные функции
  • Запишите условия полоскания, сушки и обращения.
  • Сравните результаты перед следующей операцией

Репрезентативный суд

Подтвердите процесс реальными деталями и нагрузками

Данные испытаний должны охватывать нормальное производство и наиболее трудные ожидаемые состояния.

  1. ОписатьДеталь, материал и загрязнение.
  2. ЗагрузитьИспользуйте реалистичное расстояние и ориентацию.
  3. ТестЗаписывайте химию, время и температуру.
  4. ПроверитьПроверьте согласованным методом.
Запланируйте пробную очисткуОтправить детали проекта

Вопросы по применению

Планирование исследования по очистке

Связанные приложения

Исследуйте соседние заготовки