• WhatsApp: +86 178 6052 5713
Thiết bị làm sạch siêu âm công nghiệp LENJEX
Linh kiện bán dẫn chính xác trước khi làm sạch

Vệ sinh công nghiệp LENJEX

Bộ phận bán dẫn & Thiết bị làm sạch bằng sóng siêu âm

Làm sạch nhẹ nhàng, có kiểm soát các bộ phận bán dẫn, chất mang và dụng cụ, trong đó các hạt mịn và tính toàn vẹn bề mặt là rất quan trọng.

Tại sao siêu âm

Làm sạch bằng siêu âm cho các linh kiện bán dẫn

Sản xuất chất bán dẫn và công cụ của nó đòi hỏi khả năng kiểm soát hạt rất mịn và năng lượng nhẹ để bảo vệ bề mặt. Làm sạch siêu âm có kiểm soát, tần số cao hơn sẽ loại bỏ các hạt mịn và cặn bám trên các vật mang, đồ đạc và các bộ phận tương thích mà không bị nổ mạnh như bể tần số thấp.

các máy làm sạch siêu âm phòng thí nghiệm, với khử khí và quét, và máy làm sạch đa tần số được sử dụng cho các nhiệm vụ này; tần số và hóa học được xem xét cẩn thận. Công việc liên quan đến làm sạch phòng sạch chính xác Và kiểm soát độ sạch chính xác.

Khả năng tương thích, giới hạn hạt và xử lý trong môi trường được kiểm soát được xác nhận trước khi thiết bị được chỉ định.

Các bộ phận chính xác được rửa sạch có kiểm soát
  • Loại bỏ hạt mịn với năng lượng được kiểm soát
  • Tần số nhẹ nhàng bảo vệ bề mặt
  • Quét và khử khí để tạo bọt đồng đều và nhất quán
  • Thích hợp cho các tàu sân bay, đồ đạc và các bộ phận tương thích
  • Chu kỳ lặp lại để sản xuất được kiểm soát

Phôi điển hình

Các phần trong ứng dụng này

  • Chất mang wafer và băng cassette
  • Xử lý đồ đạc và dụng cụ
  • Các bộ phận gia công chính xác
  • Thành phần gốm và thạch anh
  • Tấm chắn và khay kim loại
  • Các cụm nhỏ tương thích

Ô nhiễm

Đất để đánh giá

  • Hạt mịn và bụi
  • Dư lượng quá trình
  • Dấu vân tay và xử lý ô nhiễm
  • Chất cặn đánh bóng và mài
  • Dầu và màng hữu cơ
Kiểm tra các bộ phận chính xác

Mục tiêu sạch sẽ

Xác định sạch sẽ trước khi lựa chọn thiết bị

Việc chấp nhận dựa trên số lượng hạt và kiểm tra bề mặt phù hợp với môi trường được kiểm soát.

Việc xử lý, rửa và sấy khô được quản lý để tránh tái nhiễm bẩn sau khi làm sạch.

Trình tự được đề xuất

Lộ trình quy trình đánh giá

Trình tự cuối cùng phụ thuộc vào tải trọng đất, vật liệu, chất lượng nước rửa và trạng thái sấy khô.

  1. Bước 1Khử khí chất lỏng tươi và chọn tần số cao
  2. Bước 2Rửa siêu âm nhẹ nhàng để nâng các hạt mịn
  3. Bước 3Các giai đoạn rửa được kiểm soát
  4. Bước 4Làm khô và xử lý trong môi trường được kiểm soát
  5. Xác minhKiểm tra số lượng hạt và tình trạng bề mặt

Thiết bị được đề xuất

Hệ thống so sánh

Thông số kỹ thuật cuối cùng tuân theo quy trình thử nghiệm và phân tích sản xuất.

Kiểm soát quy trình

Kiểm soát các biến làm thay đổi kết quả làm sạch

Xác nhận bộ phận, đất, tải và xử lý cuối cùng trước khi sửa chữa cài đặt thiết bị.

Kiểm soát 01

Vật liệu và hình học

Ghi lại các bề mặt, lỗ hổng và các đặc điểm có thể bẫy không khí hoặc chất lỏng.

Kiểm soát 02

Tình trạng đất

Kiểm tra ô nhiễm đại diện nặng nhất, không phải là mẫu lý tưởng.

Kiểm soát 03

Tải giỏ

Giữ khả năng truy cập âm thanh và khoảng cách các bộ phận phù hợp với quá trình sản xuất.

Kiểm soát 04

Rửa sạch và sấy khô

Kết hợp việc xử lý tiếp theo với rủi ro cặn và ăn mòn.

Lựa chọn hệ thống

Phù hợp lộ trình làm sạch với quy trình sản xuất

Việc đếm giai đoạn và tự động hóa tuân theo quy trình đã được xác thực và đầu ra được yêu cầu.

Lô

Tuyến đường một bể

So sánh với giặt tập trung trong đó việc giũ và sấy được quản lý riêng biệt.

Nhiều giai đoạn

Rửa, rửa sạch và lau khô

Thêm các giai đoạn được kiểm soát khi tình trạng chuyển giao và điều kiện cuối cùng quan trọng.

tự động

Chuyển lặp lại

Đánh giá khả năng tự động hóa khi kiểm soát đầu ra, xử lý hoặc công thức nấu ăn yêu cầu.

Chấp nhận

Xác định cách kiểm tra phần được làm sạch

Sử dụng phương pháp kiểm tra thực tế tương tự cho các mẫu thử và các bộ phận sản xuất.

  • Đồng ý giới hạn bề mặt hoặc dư lượng
  • Kiểm tra các tính năng ẩn và khó
  • Ghi lại các điều kiện rửa, sấy khô và xử lý
  • So sánh kết quả trước khi thực hiện thao tác tiếp theo

Thử nghiệm đại diện

Xác nhận quy trình với các bộ phận và tải thực tế

Bằng chứng thử nghiệm phải bao gồm hoạt động sản xuất bình thường và điều kiện dự đoán khó khăn nhất.

  1. Mô tảBộ phận, vật liệu và ô nhiễm.
  2. TảiSử dụng khoảng cách và hướng thực tế.
  3. Kiểm traGhi lại hóa học, thời gian và nhiệt độ.
  4. Xác minhKiểm tra theo phương pháp đã thỏa thuận.
Lập kế hoạch thử nghiệm làm sạchGửi chi tiết dự án

Câu hỏi ứng dụng

Lập kế hoạch nghiên cứu làm sạch

Ứng dụng liên quan

Khám phá phôi liền kề