Presné polovodičové komponenty pred čistením

Priemyselné čistenie LENJEX

Ultrazvukové čistenie polovodičových dielov a príslušenstva

Jemné, kontrolované čistenie polovodičových častí, nosičov a nástrojov, kde sú jemné častice a integrita povrchu kritické.

Prečo ultrazvuk

Ultrazvukové čistenie polovodičových komponentov

Výroba polovodičov a ich nástroje vyžadujú veľmi jemnú kontrolu častíc a jemnú energiu na ochranu povrchov. Vysokofrekvenčné, kontrolované ultrazvukové čistenie odstraňuje jemné častice a zvyšky z nosičov, príslušenstva a kompatibilných častí bez silnej implózie nízkofrekvenčného kúpeľa.

The laboratórna ultrazvuková čistička, s degas a sweep, a viacfrekvenčný čistič sa používajú na tieto úlohy; frekvencia a chémia sa dôkladne prehodnocujú. Práca sa týka presné čistenie čistých priestorov a presná kontrola čistoty.

Kompatibilita, limity častíc a manipulácia v kontrolovanom prostredí sú potvrdené pred špecifikáciou zariadenia.

Presné diely pod kontrolovaným oplachom
  • Odstraňovanie jemných častíc riadenou energiou
  • Jemné frekvencie, ktoré chránia povrchy
  • Zametajte a odplyňujte pre rovnomernú a konzistentnú kavitáciu
  • Vhodné pre nosiče, prípravky a kompatibilné diely
  • Opakovateľné cykly pre riadenú výrobu

Typické obrobky

Časti v tejto aplikácii

  • Nosiče plátkov a kazety
  • Procesné prípravky a nástroje
  • Presne opracované diely
  • Keramické a kremenné komponenty
  • Kovové štíty a podnosy
  • Kompatibilné malé zostavy

Kontaminácia

Pôdy na vyhodnotenie

  • Jemné častice a prach
  • Zvyšky procesu
  • Odtlačky prstov a manipulácia s kontamináciou
  • Zvyšky po leštení a lapovaní
  • Oleje a organické filmy
Kontrola presných dielov

Cieľ čistoty

Pred výberom zariadenia definujte čistotu

Akceptácia je založená na počte častíc a povrchovej kontrole vhodnej pre kontrolované prostredie.

Manipulácia, oplachovanie a sušenie sú riadené tak, aby sa po čistení zabránilo opätovnej kontaminácii.

Odporúčaná postupnosť

Procesná cesta hodnotenia

Konečné poradie závisí od znečistenia, materiálu, kvality oplachovania a sušenia.

  1. Krok 1Odplyňujte čerstvú kvapalinu a zvoľte vysokú frekvenciu
  2. Krok 2Jemné ultrazvukové umývanie na odstránenie jemných častíc
  3. Krok 3Riadené fázy oplachovania
  4. Krok 4Sušte a manipulujte v kontrolovanom prostredí
  5. OveriťSkontrolujte počet častíc a stav povrchu

Odporúčané vybavenie

Systémy na porovnanie

Konečná špecifikácia nasleduje testovanie procesu a analýzu výroby.

Procesné kontroly

Ovládajte premenné, ktoré menia výsledok čistenia

Pred nastavením zariadenia skontrolujte diel, pôdu, nakladanie a konečnú manipuláciu.

Ovládanie 01

Materiál a geometria

Zaznamenajte povrchy, dutiny a prvky, ktoré môžu zachytiť vzduch alebo kvapalinu.

Ovládanie 02

Stav pôdy

Otestujte najťažšiu reprezentatívnu kontamináciu, nie ideálnu vzorku.

Ovládanie 03

Načítanie košíka

Udržujte akustický prístup a rozmiestnenie dielov v súlade s výrobou.

Ovládanie 04

Opláchnite a vysušte

Prispôsobte následnú manipuláciu riziku zvyškov a korózie.

Výber systému

Prispôsobte spôsob čistenia výrobnému toku

Počet fáz a automatizácia sledujú overený proces a požadovaný výstup.

Dávka

Cesta s jedným tankom

Porovnajte pri cielenom praní, kde sa pláchanie a sušenie riadia oddelene.

Viacstupňové

Umyte, opláchnite a vysušte

Pridajte kontrolované fázy, keď záleží na prenose a konečnom stave.

Automaticky

Opakovateľný prenos

Vyhodnoťte automatizáciu, keď si to vyžaduje výstup, manipulácia alebo riadenie receptov.

Prijatie

Definujte, ako bude kontrolovaná vyčistená časť

Použite rovnakú praktickú metódu kontroly pre skúšobné vzorky a výrobné diely.

  • Odsúhlaste limit povrchu alebo zvyškov
  • Skontrolujte skryté a zložité funkcie
  • Zaznamenajte podmienky oplachovania, sušenia a manipulácie
  • Porovnajte výsledky pred ďalšou operáciou

Reprezentačný proces

Potvrďte proces skutočnými dielmi a nákladmi

Skúšobné dôkazy by mali pokrývať normálnu produkciu a najťažšie očakávané podmienky.

  1. PopíšteČasť, materiál a znečistenie.
  2. NačítaťPoužite realistické rozostupy a orientáciu.
  3. TestZaznamenajte chémiu, čas a teplotu.
  4. OveriťSkontrolujte dohodnutým spôsobom.

Otázky týkajúce sa aplikácie

Plánovanie štúdie čistenia

Súvisiace aplikácie

Preskúmajte susediace obrobky