Precizne poluvodičke komponente prije čišćenja

LENJEX Industrijsko čišćenje

Ultrazvučno čišćenje poluvodičkih dijelova i uređaja

Nježno, kontrolirano čišćenje poluvodičkih dijelova, nosača i alata, gdje su fine čestice i integritet površine kritični.

Zašto Ultrasonic

Ultrazvučno čišćenje poluvodičkih komponenti

Proizvodnja poluvodiča i njezini alati zahtijevaju vrlo finu kontrolu čestica i nježnu energiju za zaštitu površina. Viša frekvencija, kontrolirano ultrazvučno čišćenje uklanja fine čestice i ostatke s nosača, učvršćenja i kompatibilnih dijelova bez jake implozije niskofrekventne kupke.

The laboratorijski ultrazvučni čistač, s degasom i sweepom, i višefrekventni čistač koriste se za ove zadatke; učestalost i kemijski sastav pažljivo se pregledavaju. Rad se odnosi na Cleanroom precizno čišćenje i precizna kontrola čistoće.

Kompatibilnost, ograničenja čestica i rukovanje u kontroliranom okruženju potvrđuju se prije specifikacije opreme.

Precizni dijelovi pod kontroliranim ispiranjem
  • Uklanjanje finih čestica s kontroliranom energijom
  • Nježne frekvencije koje štite površine
  • Počistite i otplinite za ravnomjernu, dosljednu kavitaciju
  • Prikladno za nosače, učvršćenja i kompatibilne dijelove
  • Ponovljivi ciklusi za kontroliranu proizvodnju

Tipični obradaci

Dijelovi u ovoj aplikaciji

  • Nosači vafla i kasete
  • Procesna učvršćenja i alati
  • Precizno obrađeni dijelovi
  • Keramičke i kvarcne komponente
  • Metalni štitovi i pladnjevi
  • Kompatibilni mali sklopovi

Kontaminacija

Tla za procjenu

  • Fine čestice i prašina
  • Procesni ostaci
  • Otisci prstiju i rukovanje kontaminacijom
  • Ostaci od poliranja i lepljenja
  • Ulja i organski filmovi
Pregled preciznih dijelova

Cilj čistoće

Definirajte čisto prije odabira opreme

Prihvaćanje se temelji na broju čestica i pregledu površine koji odgovara kontroliranom okruženju.

Rukovanjem, ispiranjem i sušenjem upravlja se kako bi se izbjegla ponovna kontaminacija nakon čišćenja.

Preporučeni redoslijed

Put procesa za evaluaciju

Konačni slijed ovisi o količini zaprljanosti, materijalu, kvaliteti ispiranja i ponašanju pri sušenju.

  1. Korak 1Degasirajte svježu tekućinu i odaberite visoku frekvenciju
  2. Korak 2Nježno ultrazvučno pranje za uklanjanje sitnih čestica
  3. 3. korakKontrolirani stupnjevi ispiranja
  4. Korak 4Osušite i rukujte u kontroliranom okruženju
  5. PotvrdiProvjerite broj čestica i stanje površine

Preporučena oprema

Sustavi za usporedbu

Konačna specifikacija slijedi testiranje procesa i analizu proizvodnje.

Kontrole procesa

Kontrolirajte varijable koje mijenjaju rezultat čišćenja

Potvrdite dio, tlo, utovar i konačno rukovanje prije popravljanja postavki opreme.

Kontrola 01

Materijal i geometrija

Zabilježite površine, šupljine i značajke koje mogu zadržati zrak ili tekućinu.

Kontrola 02

Stanje tla

Ispitajte najtežu reprezentativnu kontaminaciju, a ne idealan uzorak.

Kontrola 03

Punjenje košarice

Održavajte akustični pristup i razmak između dijelova u skladu s proizvodnjom.

Kontrola 04

Isperite i osušite

Uskladite daljnje rukovanje s ostacima i rizicima od korozije.

Odabir sustava

Uskladite put čišćenja s tokom proizvodnje

Brojanje faza i automatizacija slijede validirani proces i traženi rezultat.

Serija

Ruta s jednim tenkom

Usporedite s fokusiranim pranjem gdje se ispiranjem i sušenjem upravlja odvojeno.

Višestupanjski

Operite, isperite i osušite

Dodajte kontrolirane faze kada su prijenos i konačno stanje važni.

Automatski

Ponovljivi prijenos

Ocijenite automatizaciju kada to zahtijeva izlaz, rukovanje ili kontrola recepta.

prihvaćanje

Definirajte kako će se očišćeni dio provjeravati

Koristite istu praktičnu metodu pregleda za probne uzorke i proizvodne dijelove.

  • Dogovorite površinu ili ograničenje ostataka
  • Provjerite skrivene i teške značajke
  • Zabilježite uvjete ispiranja, sušenja i rukovanja
  • Usporedite rezultate prije sljedeće operacije

Reprezentativno suđenje

Potvrdite proces stvarnim dijelovima i opterećenjima

Dokazi ispitivanja trebaju pokrivati ​​normalnu proizvodnju i najteže očekivano stanje.

  1. OpišiteDio, materijal i kontaminacija.
  2. OpterećenjeKoristite realan razmak i orijentaciju.
  3. testZabilježite kemiju, vrijeme i temperaturu.
  4. PotvrdiPregledajte dogovorenom metodom.

Pitanja o prijavi

Planiranje studije čišćenja

Povezane aplikacije

Istražite susjedne obratke