Přesné polovodičové součástky před čištěním

Průmyslové čištění LENJEX

Ultrazvukové čištění polovodičových dílů a příslušenství

Šetrné, kontrolované čištění polovodičových dílů, nosičů a nástrojů, kde jsou kritické jemné částice a integrita povrchu.

Proč ultrazvuk

Ultrazvukové čištění polovodičových součástek

Výroba polovodičů a jejich nástroje vyžadují velmi jemnou kontrolu částic a jemnou energii k ochraně povrchů. Vysokofrekvenční řízené ultrazvukové čištění odstraňuje jemné částice a zbytky z nosičů, přípravků a kompatibilních dílů bez silné imploze nízkofrekvenční lázně.

The laboratorní ultrazvuková čistička, s degas a sweep, a vícefrekvenční čistič se pro tyto úkoly používají; frekvence a chemie jsou pečlivě přezkoumány. Práce se týká precizní čištění čistých prostor a precizní kontrola čistoty.

Kompatibilita, limity částic a manipulace v kontrolovaném prostředí jsou potvrzeny před specifikací zařízení.

Přesné díly pod řízeným oplachem
  • Odstraňování jemných částic s řízenou energií
  • Jemné frekvence, které chrání povrchy
  • Zametejte a odplyňujte pro rovnoměrnou a konzistentní kavitaci
  • Vhodné pro nosiče, přípravky a kompatibilní díly
  • Opakovatelné cykly pro řízenou výrobu

Typické obrobky

Části v této aplikaci

  • Nosiče plátků a kazety
  • Zpracovat přípravky a nástroje
  • Precizně opracované díly
  • Keramické a křemenné komponenty
  • Kovové štíty a podnosy
  • Kompatibilní malé sestavy

Kontaminace

Půdy k hodnocení

  • Jemné částice a prach
  • Procesní zbytky
  • Otisky prstů a manipulace s kontaminací
  • Zbytky po leštění a lapování
  • Oleje a organické filmy
Kontrola přesných dílů

Cíl čistoty

Před výběrem vybavení definujte čistotu

Přijetí je založeno na počtu částic a povrchové kontrole vhodné pro kontrolované prostředí.

Manipulace, oplachování a sušení jsou řízeny tak, aby se zabránilo opětovné kontaminaci po čištění.

Doporučená sekvence

Procesní cesta pro hodnocení

Konečné pořadí závisí na znečištění, materiálu, kvalitě máchání a chování při sušení.

  1. Krok 1Odplyněte čerstvou kapalinu a zvolte vysokou frekvenci
  2. Krok 2Jemné ultrazvukové mytí pro odstranění jemných částic
  3. Krok 3Řízené fáze máchání
  4. Krok 4Sušte a manipulujte v kontrolovaném prostředí
  5. OvěřteZkontrolujte počet částic a stav povrchu

Doporučené vybavení

Systémy k porovnání

Konečná specifikace následuje po procesním testování a analýze výroby.

Řízení procesů

Ovládejte proměnné, které mění výsledek čištění

Před nastavením zařízení zkontrolujte díl, půdu, nakládání a konečnou manipulaci.

Ovládání 01

Materiál a geometrie

Zaznamenejte povrchy, dutiny a prvky, které mohou zachytit vzduch nebo kapalinu.

Ovládání 02

Stav půdy

Otestujte nejtěžší reprezentativní znečištění, nikoli ideální vzorek.

Ovládání 03

Načítání košíku

Udržujte akustický přístup a rozmístění dílů v souladu s výrobou.

Ovládání 04

Opláchněte a osušte

Přizpůsobte následnou manipulaci riziku zbytků a koroze.

Výběr systému

Přizpůsobte cestu čištění výrobnímu toku

Počet fází a automatizace sledují ověřený proces a požadovaný výstup.

Dávka

Cesta s jedním tankem

Porovnejte pro cílené praní, kde se máchání a sušení řídí odděleně.

Vícestupňové

Umyjte, opláchněte a osušte

Pokud záleží na přenosu a konečném stavu, přidejte řízené fáze.

Automaticky

Opakovatelný přenos

Vyhodnoťte automatizaci, když to výstup, manipulace nebo řízení receptur vyžaduje.

Přijetí

Definujte, jak bude čištěný díl kontrolován

Použijte stejnou metodu praktické kontroly pro zkušební vzorky a výrobní díly.

  • Odsouhlaste povrch nebo limit zbytků
  • Zkontrolujte skryté a obtížné funkce
  • Zaznamenejte podmínky oplachu, sušení a manipulace
  • Porovnejte výsledky před další operací

Reprezentativní soud

Potvrďte proces pomocí skutečných dílů a zatížení

Zkušební důkazy by měly pokrývat normální produkci a nejobtížnější očekávané podmínky.

  1. PopišteČást, materiál a znečištění.
  2. NačístPoužívejte realistické rozestupy a orientaci.
  3. TestZaznamenejte chemii, čas a teplotu.
  4. OvěřteZkontrolujte dohodnutým způsobem.

Otázky k aplikaci

Plánování studie úklidu

Související aplikace

Prozkoumejte sousední obrobky