Precizne poluprovodničke komponente prije čišćenja

LENJEX Industrijsko čišćenje

Poluvodički dijelovi i pribor Ultrazvučno čišćenje

Nježno, kontrolirano čišćenje poluvodičkih dijelova, nosača i alata, gdje su fine čestice i integritet površine kritični.

Zašto ultrazvučni

Ultrazvučno čišćenje poluvodičkih komponenti

Proizvodnja poluprovodnika i njihova oprema zahtijevaju vrlo finu kontrolu čestica i nježnu energiju za zaštitu površina. Kontrolirano ultrazvučno čišćenje visoke frekvencije uklanja fine čestice i ostatke sa nosača, učvršćenja i kompatibilnih dijelova bez jake implozije niskofrekventne kupke.

The ultrazvučni čistač laboratorija, sa degasom i sweep, i višefrekventni čistač koriste se za ove zadatke; učestalost i hemija se pažljivo pregledaju. Rad se odnosi na precizno čišćenje čiste sobe i precizna kontrola čistoće.

Kompatibilnost, ograničenja čestica i rukovanje u kontrolisanom okruženju se potvrđuju prije nego što se specificira oprema.

Precizni dijelovi pod kontroliranim ispiranjem
  • Uklanjanje finih čestica uz kontroliranu energiju
  • Nježne frekvencije koje štite površine
  • Sweep and degas za ravnomjernu, dosljednu kavitaciju
  • Pogodno za nosače, uređaje i kompatibilne dijelove
  • Ponovljivi ciklusi za kontroliranu proizvodnju

Tipični radni komadi

Dijelovi u ovoj aplikaciji

  • Nosači vafla i kasete
  • Procesna oprema i alati
  • Precizno obrađeni delovi
  • Keramičke i kvarcne komponente
  • Metalni štitovi i tacni
  • Kompatibilni mali sklopovi

Kontaminacija

Tla za procjenu

  • Fine čestice i prašina
  • Ostaci procesa
  • Otisci prstiju i rukovanje kontaminacijom
  • Ostaci poliranja i lakiranja
  • Ulja i organski filmovi
Kontrola preciznih delova

Cilj čistoće

Definirajte čisto prije odabira opreme

Prihvatanje se zasniva na broju čestica i inspekciji površine koja odgovara kontrolisanom okruženju.

Rukovanje, ispiranje i sušenje se kontrolišu kako bi se izbjegla ponovna kontaminacija nakon čišćenja.

Preporučena sekvenca

Procesni put za evaluaciju

Konačni redoslijed ovisi o opterećenju tla, materijalu, kvaliteti ispiranja i ponašanju sušenja.

  1. Korak 1Degas svježu tekućinu i odaberite visoku frekvenciju
  2. Korak 2Nježno ultrazvučno pranje za podizanje sitnih čestica
  3. Korak 3Kontrolisane faze ispiranja
  4. Korak 4Osušite i rukujte u kontroliranom okruženju
  5. VerifyProvjerite broj čestica i stanje površine

Preporučena oprema

Sistemi za poređenje

Konačna specifikacija slijedi nakon testiranja procesa i analize proizvodnje.

Kontrole procesa

Kontrolirajte varijable koje mijenjaju rezultat čišćenja

Potvrdite dio, tlo, utovar i konačno rukovanje prije popravljanja postavki opreme.

Kontrola 01

Materijal i geometrija

Snimite površine, šupljine i karakteristike koje mogu zarobiti vazduh ili tečnost.

Kontrola 02

Stanje tla

Testirajte najtežu reprezentativnu kontaminaciju, a ne idealan uzorak.

Kontrola 03

Basket loading

Održavajte akustični pristup i razmak dijelova u skladu s proizvodnjom.

Kontrola 04

Isperite i osušite

Uskladite rukovanje nizvodno sa ostatkom i rizicima od korozije.

Odabir sistema

Uskladite put čišćenja sa proizvodnim tokom

Brojanje faza i automatizacija prate potvrđeni proces i traženi rezultat.

Batch

Ruta sa jednim rezervoarom

Uporedite za fokusirano pranje gde se ispiranje i sušenje upravljaju odvojeno.

Višestepeni

Operite, isperite i osušite

Dodajte kontrolirane faze kada su bitni prijenos i konačni uvjet.

Automatski

Ponovljiv transfer

Procijenite automatizaciju kada to zahtijevaju izlaz, rukovanje ili kontrola receptura.

Prihvatanje

Definirajte kako će se očišćeni dio provjeriti

Koristite istu praktičnu metodu inspekcije za probne uzorke i proizvodne dijelove.

  • Dogovorite se o granici površine ili ostatka
  • Provjerite skrivene i teške funkcije
  • Zabilježite uslove ispiranja, sušenja i rukovanja
  • Usporedite rezultate prije sljedeće operacije

Zastupničko suđenje

Potvrdite proces sa stvarnim dijelovima i opterećenjima

Dokazi sa suđenja treba da pokriju normalnu proizvodnju i najteže očekivano stanje.

  1. OpišiteDio, materijal i kontaminacija.
  2. UčitajKoristite realističan razmak i orijentaciju.
  3. TestZabilježite hemiju, vrijeme i temperaturu.
  4. VerifyPregledajte dogovorenom metodom.

Pitanja za prijavu

Planiranje studije čišćenja

Povezane aplikacije

Istražite susjedne obratke