Прецизни полупроводникови компоненти преди почистване

LENJEX Индустриално почистване

Ултразвуково почистване на полупроводникови части и приспособления

Нежно, контролирано почистване на полупроводникови части, носители и инструменти, където фините частици и целостта на повърхността са критични.

Защо ултразвукова

Ултразвуково почистване на полупроводникови компоненти

Производството на полупроводници и инструментите за него изискват много фин контрол на частиците и нежна енергия за защита на повърхностите. По-високочестотното, контролирано ултразвуково почистване премахва фини частици и остатъци от носители, приспособления и съвместими части без силната имплозия на нискочестотна вана.

The лабораторен ултразвуков уред, с дега и размах, и многочестотен почистващ препарат се използват за тези задачи; честотата и химията се преглеждат внимателно. Работата се отнася до прецизно почистване на чисти помещения и прецизен контрол на чистотата.

Съвместимостта, границите на частиците и манипулирането в контролирана среда се потвърждават преди оборудването да бъде специфицирано.

Прецизни части под контролирано изплакване
  • Отстраняване на фини частици с контролирана енергия
  • Нежни честоти, които предпазват повърхностите
  • Почистване и дегазиране за равномерна, постоянна кавитация
  • Подходящ за носачи, приспособления и съвместими части
  • Повтарящи се цикли за контролирано производство

Типични детайли

Части в това приложение

  • Носители и касети за вафли
  • Приспособления за процес и инструментална екипировка
  • Прецизно обработени части
  • Керамични и кварцови компоненти
  • Метални щитове и тави
  • Съвместими малки възли

Замърсяване

Почви за оценка

  • Фини частици и прах
  • Остатъци от процеса
  • Пръстови отпечатъци и боравене със замърсяване
  • Остатъци от полиране и прилепване
  • Масла и органични филми
Проверка на прецизни части

Цел за чистота

Определете чисто преди да изберете оборудване

Приемането се основава на броя на частиците и проверката на повърхността, подходяща за контролираната среда.

Манипулирането, изплакването и сушенето се управляват, за да се избегне повторно замърсяване след почистване.

Препоръчителна последователност

Процесен маршрут за оценка

Крайната последователност зависи от замърсяването, материала, качеството на изплакване и поведението при сушене.

  1. Стъпка 1Дегазирайте прясна течност и изберете висока честота
  2. Стъпка 2Нежно ултразвуково измиване за отстраняване на фини частици
  3. Стъпка 3Контролирани етапи на изплакване
  4. Стъпка 4Сушете и обработвайте в контролирана среда
  5. ПроверетеПроверете броя на частиците и състоянието на повърхността

Препоръчително оборудване

Системи за сравнение

Окончателната спецификация следва тестване на процеса и производствен анализ.

Контрол на процеса

Контролирайте променливите, които променят резултата от почистването

Потвърдете частта, почвата, натоварването и крайната обработка, преди да фиксирате настройките на оборудването.

Контрол 01

Материал и геометрия

Запишете повърхности, кухини и елементи, които могат да задържат въздух или течност.

Контрол 02

Състояние на почвата

Тествайте най-тежкото представително замърсяване, а не идеална проба.

Контрол 03

Зареждане на кошницата

Поддържайте акустичния достъп и разстоянието между частите в съответствие с производството.

Контрол 04

Изплакнете и подсушете

Съобразете обработката надолу по веригата с остатъците и рисковете от корозия.

Избор на система

Свържете пътя на почистване с производствения поток

Броят на етапите и автоматизацията следват валидирания процес и необходимия резултат.

Партида

Маршрут с един танк

Сравнете за фокусирано пране, където изплакването и сушенето се управляват отделно.

Многоетапен

Измийте, изплакнете и подсушете

Добавете контролирани етапи, когато пренасянето и крайното състояние имат значение.

Автоматичен

Повтарящ се трансфер

Оценявайте автоматизацията, когато продукцията, обработката или контролът на рецептата го изискват.

Приемане

Определете как ще се проверява почистената част

Използвайте същия практически метод за проверка за пробни проби и производствени части.

  • Съгласете границата на повърхността или остатъците
  • Проверете скритите и трудни функции
  • Запишете условията на изплакване, сушене и работа
  • Сравнете резултатите преди следващата операция

Представителен процес

Потвърдете процеса с реални части и товари

Доказателствата от опита трябва да обхващат нормалното производство и най-трудното очаквано състояние.

  1. ОпишетеЧаст, материал и замърсяване.
  2. ЗаредетеИзползвайте реалистично разстояние и ориентация.
  3. ТестЗапишете химия, време и температура.
  4. ПроверетеПроверете по договорения метод.

Въпроси за кандидатстване

Планиране на проучването за почистване

Свързани приложения

Разгледайте съседни детайли