• WhatsApp: +86 178 6052 5713
Industrijska ultrazvočna čistilna oprema LENJEX
Natančne polprevodniške komponente pred čiščenjem

Industrijsko čiščenje LENJEX

Ultrazvočno čiščenje polprevodniških delov in napeljav

Nežno, nadzorovano čiščenje polprevodniških delov, nosilcev in orodij, kjer so drobni delci in celovitost površine kritični.

Zakaj ultrazvočno

Ultrazvočno čiščenje polprevodniških komponent

Proizvodnja polprevodnikov in njihova orodja zahtevajo zelo fin nadzor delcev in nežno energijo za zaščito površin. Visokofrekvenčno nadzorovano ultrazvočno čiščenje odstrani drobne delce in ostanke z nosilcev, napeljav in združljivih delov brez močne implozije nizkofrekvenčne kopeli.

The laboratorijski ultrazvočni čistilec, z degasom in pometanjem ter večfrekvenčni čistilec se uporabljajo za te naloge; pogostost in kemijo natančno pregledamo. Delo se nanaša na natančno čiščenje čistih prostorov in natančen nadzor čistoče.

Združljivost, omejitve delcev in ravnanje v nadzorovanem okolju so potrjeni, preden se določi oprema.

Natančni deli pod nadzorovanim izpiranjem
  • Odstranjevanje drobnih delcev z nadzorovano energijo
  • Nežne frekvence, ki ščitijo površine
  • Pometite in odplinite za enakomerno, dosledno kavitacijo
  • Primerno za nosilce, napeljave in združljive dele
  • Ponovljivi cikli za kontrolirano proizvodnjo

Tipični obdelovanci

Deli v tej aplikaciji

  • Nosilci in kasete za rezine
  • Procesne naprave in orodja
  • Natančno obdelani deli
  • Keramične in kvarčne komponente
  • Kovinski ščiti in pladnji
  • Združljivi majhni sklopi

Kontaminacija

Tla za oceno

  • Drobni delci in prah
  • Procesni ostanki
  • Prstni odtisi in ravnanje s kontaminacijo
  • Ostanki poliranja in lepljenja
  • Olja in organski filmi
Pregled natančnih delov

Cilj čistoče

Preden izberete opremo, definirajte čisto

Sprejemanje temelji na štetju delcev in pregledu površine, ki ustreza nadzorovanemu okolju.

Ravnanje, izpiranje in sušenje se izvajajo tako, da se prepreči ponovna kontaminacija po čiščenju.

Priporočeno zaporedje

Procesna pot za vrednotenje

Končno zaporedje je odvisno od obremenitve zemlje, materiala, kakovosti izpiranja in obnašanja pri sušenju.

  1. 1. korakOdplinite svežo tekočino in izberite visoko frekvenco
  2. 2. korakNežno ultrazvočno pranje za dvig drobnih delcev
  3. 3. korakNadzorovane stopnje izpiranja
  4. 4. korakSušite in ravnajte v nadzorovanem okolju
  5. PreveriPreverite število delcev in stanje površine

Priporočena oprema

Sistemi za primerjavo

Končna specifikacija sledi testiranju procesa in analizi proizvodnje.

Kontrole procesov

Nadzorujte spremenljivke, ki spreminjajo rezultat čiščenja

Potrdite del, zemljo, nakladanje in končno rokovanje, preden popravite nastavitve opreme.

Nadzor 01

Material in geometrija

Zabeležite površine, votline in elemente, ki lahko ujamejo zrak ali tekočino.

Nadzor 02

Stanje tal

Testirajte najmočnejšo reprezentativno kontaminacijo, ne idealnega vzorca.

Nadzor 03

Polnjenje košarice

Ohranite akustični dostop in razmik delov v skladu s proizvodnjo.

Nadzor 04

Izpiranje in sušenje

Uskladite nadaljnje ravnanje z ostanki in tveganjem korozije.

Izbira sistema

Uskladite pot čiščenja s tokom proizvodnje

Štetje stopenj in avtomatizacija sledita potrjenemu procesu in zahtevanemu rezultatu.

Serija

Pot z enim tankom

Primerjajte za osredotočeno pranje, kjer se izpiranje in sušenje upravljata ločeno.

Večstopenjski

Operite, sperite in posušite

Dodajte nadzorovane stopnje, ko sta pomembna prenos in končno stanje.

Samodejno

Ponovljiv prenos

Ocenite avtomatizacijo, ko to zahteva proizvodnja, rokovanje ali nadzor receptov.

Sprejemanje

Določite, kako bo očiščen del preverjen

Uporabite isto praktično metodo pregleda za poskusne vzorce in proizvodne dele.

  • Dogovorite se o meji površine ali ostankov
  • Preverite skrite in težavne funkcije
  • Zabeležite pogoje izpiranja, sušenja in rokovanja
  • Primerjajte rezultate pred naslednjo operacijo

Reprezentativno sojenje

Potrdite postopek z dejanskimi deli in obremenitvami

Dokazi o preskušanju morajo zajemati normalno proizvodnjo in najtežje pričakovano stanje.

  1. OpišiteDel, material in kontaminacija.
  2. obremenitevUporabite realen razmik in orientacijo.
  3. TestZabeležite kemijo, čas in temperaturo.
  4. PreveriPreglejte z dogovorjeno metodo.
Načrtujte poskus čiščenjaPošljite podrobnosti projekta

Vprašanja o aplikaciji

Načrtovanje študije čiščenja

Sorodne aplikacije

Raziščite sosednje obdelovance