Komponen semikonduktor ketepatan sebelum dibersihkan

Pembersihan Industri LENJEX

Bahagian & Lekapan Semikonduktor Pembersihan Ultrasonik

Pembersihan lembut dan terkawal bahagian semikonduktor, pembawa dan perkakas, di mana zarah halus dan integriti permukaan adalah kritikal.

Mengapa Ultrasonik

Pembersihan ultrasonik untuk Komponen Semikonduktor

Pembuatan semikonduktor dan perkakasnya memerlukan kawalan zarah yang sangat halus dan tenaga lembut untuk melindungi permukaan. Pembersihan ultrasonik dengan frekuensi lebih tinggi dan terkawal menghilangkan zarah dan sisa halus daripada pembawa, lekapan dan bahagian yang serasi tanpa letupan kuat mandi frekuensi rendah.

The pembersih ultrasonik makmal, dengan degas dan sapuan, dan pembersih berbilang frekuensi digunakan untuk tugas-tugas ini; kekerapan dan kimia disemak dengan teliti. Kerja itu berkaitan dengan pembersihan ketepatan bilik bersih dan kawalan kebersihan ketepatan.

Keserasian, had zarah dan pengendalian dalam persekitaran terkawal disahkan sebelum peralatan ditentukan.

Bahagian ketepatan di bawah pembilasan terkawal
  • Penyingkiran zarah halus dengan tenaga terkawal
  • Frekuensi lembut yang melindungi permukaan
  • Sapu dan degas untuk peronggaan yang sekata dan konsisten
  • Sesuai untuk pembawa, lekapan dan bahagian yang serasi
  • Kitaran berulang untuk pengeluaran terkawal

Bahan Kerja Biasa

Bahagian dalam aplikasi ini

  • Pembawa wafer dan kaset
  • Lekapan proses dan perkakas
  • Bahagian mesin ketepatan
  • Komponen seramik dan kuarza
  • Perisai logam dan dulang
  • Perhimpunan kecil yang serasi

Pencemaran

Tanah untuk dinilai

  • Zarah halus dan habuk
  • Memproses sisa
  • Cap jari dan pengendalian pencemaran
  • Menggilap dan mengelap sisa
  • Minyak dan filem organik
Pemeriksaan bahagian ketepatan

Sasaran Kebersihan

Tentukan bersih sebelum memilih peralatan

Penerimaan adalah berdasarkan kiraan zarah dan pemeriksaan permukaan yang sesuai dengan persekitaran terkawal.

Pengendalian, pembilasan dan pengeringan diuruskan untuk mengelakkan pencemaran semula selepas pembersihan.

Urutan yang Disyorkan

Laluan proses untuk penilaian

Urutan akhir bergantung pada pemuatan tanah, bahan, kualiti bilas dan tingkah laku pengeringan.

  1. Langkah 1Degas cecair segar dan pilih frekuensi tinggi
  2. Langkah 2Basuh ultrasonik yang lembut untuk mengangkat zarah halus
  3. Langkah 3Peringkat bilas terkawal
  4. Langkah 4Keringkan dan kendalikan dalam persekitaran terkawal
  5. SahkanPeriksa kiraan zarah dan keadaan permukaan

Peralatan yang Disyorkan

Sistem untuk membandingkan

Spesifikasi akhir mengikuti ujian proses dan analisis pengeluaran.

Kawalan Proses

Kawal pembolehubah yang mengubah hasil pembersihan

Sahkan bahagian, tanah, pemuatan dan pengendalian akhir sebelum menetapkan tetapan peralatan.

Kawalan 01

Bahan dan geometri

Rekod permukaan, rongga dan ciri yang boleh memerangkap udara atau cecair.

Kawalan 02

Keadaan tanah

Uji pencemaran wakil yang paling berat, bukan sampel yang ideal.

Kawalan 03

Pemuatan bakul

Pastikan akses akustik dan jarak bahagian konsisten dengan pengeluaran.

Kawalan 04

Bilas dan keringkan

Padankan pengendalian hiliran dengan sisa dan risiko kakisan.

Pemilihan Sistem

Padankan laluan pembersihan dengan aliran pengeluaran

Kiraan peringkat dan automasi mengikut proses yang disahkan dan output yang diperlukan.

Kumpulan

Laluan tangki tunggal

Bandingkan untuk mencuci terfokus di mana pembilasan dan pengeringan diuruskan secara berasingan.

Pelbagai peringkat

Basuh, bilas dan keringkan

Tambah peringkat terkawal apabila pemindahan dan keadaan akhir penting.

Automatik

Pemindahan berulang

Nilaikan automasi apabila output, pengendalian atau kawalan resipi memerlukannya.

Penerimaan

Tentukan cara bahagian yang dibersihkan akan diperiksa

Gunakan kaedah pemeriksaan praktikal yang sama untuk sampel percubaan dan bahagian pengeluaran.

  • Setuju had permukaan atau sisa
  • Semak ciri tersembunyi dan sukar
  • Catatkan keadaan bilas, pengeringan dan pengendalian
  • Bandingkan keputusan sebelum operasi seterusnya

Perbicaraan Wakil

Sahkan proses dengan bahagian dan beban sebenar

Bukti percubaan harus meliputi pengeluaran biasa dan keadaan yang dijangkakan paling sukar.

  1. HuraikanBahagian, bahan dan pencemaran.
  2. MuatkanGunakan jarak dan orientasi yang realistik.
  3. UjianRekod kimia, masa dan suhu.
  4. SahkanPeriksa dengan kaedah yang dipersetujui.

Soalan Permohonan

Merancang kajian pembersihan

Aplikasi Berkaitan

Terokai bahan kerja bersebelahan