Präzisioun semiconductor Komponente virun Botzen

LENJEX Industriell Botzen

Semiconductor Parts & Fixtures Ultrasonic Botzen

Douce, kontrolléiert Botzen vun Halbleiterdeeler, Träger an Tooling, wou fein Partikelen an Uewerflächintegritéit kritesch sinn.

Firwat Ultraschall

Ultraschallreinigung fir Semiconductor Komponenten

Semiconductor Fabrikatioun a seng Tooling erfuerderen ganz fein Partikelkontrolle a sanft Energie fir Flächen ze schützen. Méi héich Frequenz, kontrolléiert Ultraschallreinigung läscht feine Partikelen a Reschter vun Träger, Armaturen a kompatibel Deeler ouni déi staark Implosioun vun engem nidderegen Frequenzbad.

Déi Labo Ultraschallreiniger, mat degas an sweep, an der Multi-Frequenz Cleaner gi fir dës Aufgaben benotzt; Frequenz a Chimie ginn suergfälteg iwwerpréift. D'Aarbecht bezitt sech op cleanroom Präzisioun Botzen an Präzisioun Propretéit Kontroll.

Kompatibilitéit, Partikelgrenzen an Handhabung an engem kontrolléierten Ëmfeld gi bestätegt ier Ausrüstung spezifizéiert gëtt.

Präzisiounsdeeler ënner kontrolléierter Spülen
  • Fein Partikelentfernung mat kontrolléierter Energie
  • Genug Frequenzen déi Flächen schützen
  • Sweep an Degas fir eng gläichméisseg, konsequent Kavitatioun
  • Gëeegent fir Träger, Armaturen a kompatibel Deeler
  • Widderhuelend Zyklen fir kontrolléiert Produktioun

Typesch Workpieces

Deeler an dëser Applikatioun

  • Wafer Carriers a Kassetten
  • Prozess Ariichtungen an Tooling
  • Präzisioun machined Deeler
  • Keramik a Quarz Komponenten
  • Metal Schëlder a Schacht
  • Kompatibel kleng Versammlungen

Kontaminatioun

Buedem ze evaluéieren

  • Fein Partikelen a Staub
  • Prozess Reschter
  • Fangerofdréck an Ëmgank Kontaminatioun
  • Poléieren a Lapping Reschter
  • Ueleg an Bio Filmer
Inspektioun vun Präzisioun Deeler

Propretéit Zil

Definéieren propper ier Dir Ausrüstung wielt

Akzeptanz baséiert op Partikelzuelen an Uewerflächinspektioun passend fir dat kontrolléiert Ëmfeld.

D'Handhabung, d'Spülen an d'Trocknung gi geréiert fir Rekontaminatioun nom Botzen ze vermeiden.

Recommandéiert Sequenz

E Prozess Wee fir Evaluatioun

Déi lescht Sequenz hänkt vum Buedembelaaschtung, Material, Spülenqualitéit an Trocknungsverhalen of.

  1. Schrëtt 1Degas frësch Flëssegkeet a wielt eng héich Frequenz
  2. Schrëtt 2Doft Ultraschallwäsch fir fein Partikel opzehiewen
  3. Schrëtt 3Kontrolléiert Spülenstadien
  4. Schrëtt 4Dréchen a handhaben an engem kontrolléierten Ëmfeld
  5. VerifizéierenIwwerpréift d'Partikelzuelen an d'Uewerflächenkonditioun

Recommandéiert Ausrüstung

Systemer ze vergläichen

Déi lescht Spezifizéierung follegt Prozesstesten a Produktiounsanalyse.

Prozess Kontrollen

Kontrolléiert d'Variabelen déi d'Botzresultat änneren

Bestätegt den Deel, de Buedem, d'Luede an d'endgülteg Handhabung ier Dir d'Ausrüstungsastellungen fixéiert.

Kontroll 01

Material a Geometrie

Rekord Fläch, Huelraim a Fonctiounen datt Loft oder Flëssegket Fang kann.

Kontroll 02

Buedem Zoustand

Test déi schwéierst representativ Kontaminatioun, net eng ideal Probe.

Kontroll 03

Kuerf Luede

Halt akustesch Zougang an Deelabstand konsequent mat der Produktioun.

Kontroll 04

Spülen an dréchen

Match downstream Handhabung op Rescht a Korrosiounsrisiken.

System Auswiel

Match d'Botzen Wee zu Produktioun Flux

Bühnzuel an Automatisatioun verfollegen de validéierte Prozess an erfuerderlechen Ausgang.

Batch

Single-Tank Streck

Vergläicht fir fokusséiert Wäschen wou Spülen an Trocknen getrennt geréiert ginn.

Multi-Etapp

Wäschen, spülen an dréchen

Füügt kontrolléiert Etappe wann d'Iwwerdroung an d'Finale Konditioun wichteg sinn.

Automatesch

Widderhuelend Transfert

Evaluéiert d'Automatisatioun wann d'Ausgab, d'Handhabung oder d'Rezeptkontrolle et erfuerdert.

Akzeptanz

Definéiert wéi de gebotzten Deel gepréift gëtt

Benotzt déiselwecht praktesch Inspektiounsmethod fir Testproben a Produktiounsdeeler.

  • Averstanen der Uewerfläch oder Rescht Limite
  • Check verstoppt a schwiereg Funktiounen
  • Rekord Spülen, Trocknung an Ëmgank Konditiounen
  • Vergläicht d'Resultater virun der nächster Operatioun

Vertrieder Prozess

Bestätegt de Prozess mat realen Deeler a Lasten

Prozess Beweiser soll normal Produktioun an déi schwieregst erwaart Conditioun Cover.

  1. BeschreiwenDeel, Material a Kontaminatioun.
  2. LuedenBenotzt realistesch Abstand an Orientéierung.
  3. TestRekord Chimie, Zäit an Temperatur.
  4. VerifizéierenKontrolléiert mat der ausgemaacher Method.

Applikatioun Froen

Planung der Botzen Etude

Zesummenhang Uwendungen

Entdeckt ugrenzend Aarbechtsstécker