• ВхатсАпп: +86 178 6052 5713
ЛЕЊЕКС индустријска ултразвучна опрема за чишћење
Прецизне полупроводничке компоненте пре чишћења

ЛЕЊЕКС Индустријско чишћење

Делови и прибор за полупроводнике Ултразвучно чишћење

Нежно, контролисано чишћење полупроводничких делова, носача и алата, где су фине честице и интегритет површине критични.

Зашто ултразвучни

Ултразвучно чишћење полупроводничких компоненти

Производња полупроводника и њени алати захтевају веома фину контролу честица и нежну енергију за заштиту површина. Контролисано ултразвучно чишћење више фреквенције уклања фине честице и остатке са носача, уређаја и компатибилних делова без јаке имплозије нискофреквентне купке.

Тхе лабораторијски ултразвучни чистач, са дегасом и замахом, и вишефреквентни чистач користе се за ове задатке; учесталост и хемија се пажљиво прегледају. Рад се односи на прецизно чишћење чисте собе и прецизна контрола чистоће.

Компатибилност, ограничења честица и руковање у контролисаном окружењу се потврђују пре него што се опрема специфицира.

Прецизни делови под контролисаним испирањем
  • Уклањање финих честица са контролисаном енергијом
  • Нежне фреквенције које штите површине
  • Свееп анд дегас фор уједначена, конзистентна кавитација
  • Погодно за носаче, уређаје и компатибилне делове
  • Поновљиви циклуси за контролисану производњу

Типични радни комади

Делови у овој апликацији

  • Носачи вафла и касете
  • Процесна опрема и алати
  • Прецизно обрађени делови
  • Керамичке и кварцне компоненте
  • Метални штитови и тацне
  • Компатибилни мали склопови

Контаминација

Тла за процену

  • Фине честице и прашина
  • Процесни остаци
  • Отисци прстију и руковање контаминацијом
  • Остаци полирања и лакирања
  • Уља и органски филмови
Инспекција прецизних делова

Циљ чистоће

Дефинишите чисто пре него што изаберете опрему

Прихватање се заснива на броју честица и инспекцији површине која одговара контролисаном окружењу.

Руковање, испирање и сушење се контролишу како би се избегла реконтаминација након чишћења.

Препоручена секвенца

Процесни пут за евалуацију

Коначни редослед зависи од оптерећења земље, материјала, квалитета испирања и понашања при сушењу.

  1. Корак 1Дегазирајте свежу течност и изаберите високу фреквенцију
  2. 2. коракНежно ултразвучно прање за подизање ситних честица
  3. Корак 3Контролисане фазе испирања
  4. Корак 4Осушите и рукујте у контролисаном окружењу
  5. ВерифиПроверите број честица и стање површине

Препоручена опрема

Системи за поређење

Коначна спецификација следи тестирање процеса и анализу производње.

Контроле процеса

Контролишите варијабле које мењају резултат чишћења

Потврдите део, тло, утовар и коначно руковање пре поправљања подешавања опреме.

Контрола 01

Материјал и геометрија

Снимите површине, шупљине и карактеристике које могу заробити ваздух или течност.

Контрола 02

Стање тла

Тестирајте најтежу репрезентативну контаминацију, а не идеалан узорак.

Контрола 03

Баскет лоадинг

Одржавајте акустични приступ и размак делова у складу са производњом.

Контрола 04

Исперите и осушите

Ускладите руковање низводно са ризиком од остатака и корозије.

Избор система

Ускладите пут чишћења са током производње

Бројање фаза и аутоматизација прате валидирани процес и потребан резултат.

Батцх

Пут са једним резервоаром

Упоредите за фокусирано прање где се испирање и сушење управљају одвојено.

Вишестепени

Оперите, исперите и осушите

Додајте контролисане фазе када су важни пренос и коначно стање.

Аутоматски

Поновљив трансфер

Процените аутоматизацију када то захтевају излаз, руковање или контрола рецептура.

Прихватање

Дефинишите како ће се проверавати очишћени део

Користите исту практичну методу инспекције за пробне узорке и производне делове.

  • Договорите се о граници површине или остатка
  • Проверите скривене и тешке функције
  • Забележите услове испирања, сушења и руковања
  • Упоредите резултате пре следеће операције

Заступничко суђење

Потврдите процес са стварним деловима и оптерећењима

Докази са суђења треба да покрију нормалну производњу и најтеже очекивано стање.

  1. ОпишитеДео, материјал и контаминација.
  2. УчитајКористите реалистичан размак и оријентацију.
  3. ТестЗабележите хемију, време и температуру.
  4. ВерифиПрегледајте договореном методом.
Планирајте пробно чишћењеПошаљите детаље пројекта

Питања за пријаву

Планирање студије чишћења

Повезане апликације

Истражите суседне радне предмете