Cumpunenti di semiconductor di precisione prima di pulizia

Pulizia industriale LENJEX

Semiconductor Parts & Fixtures Pulizia ultrasonica

Pulizia delicata è cuntrullata di parti di semiconduttori, trasportatori è utensili, induve e particelle fini è l'integrità di a superficia sò critichi.

Perchè Ultrasonic

Pulizia ultrasonica per i cumpunenti semiconduttori

A fabricazione di semiconduttori è i so arnesi necessitanu un cuntrollu di particelle assai fine è una energia dolce per prutegge e superfici. A pulizia ultrasonica cuntrullata di frequenza più alta elimina particelle fini è residui da i trasportatori, apparecchi è parti cumpatibili senza a forte implosione di un bagnu di bassa frequenza.

U pulitore ultrasonicu di laboratoriu, cù degas è spazza, è u pulitore multifrequenza sò usati per sti travaglii; a frequenza è a chimica sò rivista cù cura. U travagliu riguarda pulizia di precisione di stanza bianca è cuntrollu di pulizia di precisione.

A cumpatibilità, i limiti di particelle è a manipulazione in un ambiente cuntrullatu sò cunfirmati prima di specificazione di l'equipaggiu.

Parti di precisione sottu risciacquati cuntrullati
  • Eliminazione di particelle fini cù energia cuntrullata
  • Frequenze delicate chì prutegge e superfici
  • Spazza e degas per una cavitazione uniforme e coerente
  • Adatta per trasportatori, apparecchi è parti cumpatibili
  • Cicli ripetibili per a produzzione cuntrullata

Pezzi tipici

Parti in questa applicazione

  • Carri di wafer è cassette
  • Apparecchi di prucessu è arnesi
  • Parti machinate di precisione
  • Cumpunenti di ceramica è quartz
  • Scudi metallichi è vassoi
  • Picculi assemblei cumpatibili

Cuntaminazione

Terre à valutà

  • Particelle fini è polveri
  • Residui di prucessu
  • Impronte digitali è manipulazione di contaminazione
  • Residui di lucidatura è lappatura
  • Olii è filmi organici
Ispezione di parti di precisione

Target di pulizia

Definite a pulita prima di sceglie l'equipaggiu

L'accettazione hè basatu annantu à u conte di particelle è l'ispezione di a superficia adattata à l'ambiente cuntrullatu.

A manipulazione, u risciacquamentu è l'asciugatura sò gestiti per evità a recontaminazione dopu a pulizia.

Sequenza cunsigliata

Una strada di prucessu per a valutazione

A sequenza finale dipende da a carica di terra, u materiale, a qualità di risciacquare è u cumpurtamentu di l'asciugatura.

  1. Passu 1Degas u liquidu frescu è selezziunate una freccia alta
  2. Passu 2Lavatu ultrasonicu delicatu per elevà e particelle fini
  3. Passu 3Fasi di risciacquamentu cuntrullati
  4. Passu 4Asciugà è manighjà in un ambiente cuntrullatu
  5. VerificateVerificate u numeru di particelle è a cundizione di a superficia

Equipamentu cunsigliatu

Sistemi da paragunà

A specificazione finale seguita a prova di prucessu è l'analisi di produzzione.

Cuntrolli di prucessu

Cuntrolla i variàbili chì cambianu u risultatu di pulizia

Cunfirmà a parte, a terra, a carica è a manipulazione finale prima di riparà i paràmetri di l'equipaggiu.

cuntrollu 01

Materiale è geometria

Registrate superfici, cavità è caratteristiche chì ponu intrappulà l'aria o u liquidu.

Cuntrolla 02

Cundizione di a terra

Pruvate a contaminazione rappresentativa più pesante, micca una mostra ideale.

cuntrollu 03

Carica di cesti

Mantene l'accessu acusticu è u spaziu di parti coherente cù a produzzione.

cuntrollu 04

Sciacqua e asciuga

Aduprate a manipulazione in aval à i risichi di residui è di corrosione.

Selezzione di u sistema

Abbina a strada di pulizia à u flussu di produzzione

U conte di tappe è l'automatizazione seguitanu u prucessu validatu è u risultatu necessariu.

Batch

Percorsu unicu tank

Comparare per lavare focalizatu induve u risciacamentu è l'asciugatura sò gestiti separatamente.

Multi-stadi

Lavate, sciacquate è asciugate

Aghjunghjite tappe cuntrullate quandu u trasportu è a cundizione finale importa.

autumàticu

Trasferimentu ripetibile

Evaluate l'automatizazione quandu l'output, a manipulazione o u cuntrollu di ricetta ne precisa.

Acceptazione

Definite cumu a parte pulita serà verificata

Aduprate u stessu metudu di ispezione praticu per i campioni di prova è e parti di produzzione.

  • Accordu a superficia o u limitu di residu
  • Verificate e caratteristiche nascoste è difficili
  • Registrate e condizioni di risciacquo, asciugatura e manipolazione
  • Comparare i risultati prima di a prossima operazione

Prucessu rappresentativu

Cunfirmà u prucessu cù parti reali è carichi

L'evidenza di prova deve copre a produzzione normale è a cundizione più difficiuli prevista.

  1. DescrivitePart, materiale è contaminazione.
  2. CaricaAduprate spazii realistichi è orientazione.
  3. TestuRegistrate a chimica, u tempu è a temperatura.
  4. VerificateInspeccione cù u metudu accunsentutu.

Domande d'applicazione

Pianificazione di u studiu di pulizia

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